उत्पाद अवलोकन
गोल टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य मैग्नेट्रोन स्पटरिंग और भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) प्रणालियों के लिए उच्च शुद्धता वाले कैथोड स्रोत सामग्री के रूप में काम करते हैं। वैक्यूम पिघले हुए टाइटेनियम सिल्लियों से निर्मित, ये गोलाकार लक्ष्य स्थिर प्लाज्मा डिस्चार्ज, अनुमानित पतली फिल्म विकास दर और सेमीकंडक्टर, ऑप्टिकल और सजावटी कोटिंग लाइनों में लगातार विद्युत चालकता सुनिश्चित करने के लिए समान माइक्रोस्ट्रक्चर प्रदान करते हैं।
तकनीकी निर्देश
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पवित्रता |
ग्रेड 1 (99.5%), ग्रेड 2 (99.7%), 99.9% (3एन), 99.95% (3एन5), 99.99% (4एन), 99.995% (4एन5) |
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मानक व्यास |
2 इंच से 16 इंच (अनुरोध पर कस्टम आयाम उपलब्ध) |
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मोटाई रेंज |
3 मिमी से 20 मिमी |
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सूक्ष्म |
औसत अनाज का आकार <100 um समान अनाज वितरण के साथ |
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घनत्व |
> 4.51 g/cm3 (>99.5% सैद्धांतिक घनत्व) |
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बैकिंग प्लेट सामग्री |
कॉपर (ओएफएचसी), ऑक्सीजन मुक्त तांबा, या एल्युमीनियम (इंडियम या इलास्टोमेर बॉन्डिंग उपलब्ध) |
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सतही समापन |
मशीनीकृत, लैप्ड या पॉलिश किया हुआ (रा<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed |
प्रमुख विशेषताऐं
महीन एवं एकसमान अनाज का आकार:नियंत्रित थर्मो{0}}यांत्रिक प्रसंस्करण स्थानीयकृत ओवरहीटिंग को रोकता है, उच्च {{1}पावर जमाव के दौरान कण उत्पादन और पिनहोल दोषों को कम करता है।
कम गैस अशुद्धियाँ:ऑक्सीजन, नाइट्रोजन, कार्बन और हाइड्रोजन के नियंत्रित अंतरालीय स्तर निर्वात कक्ष के अंदर सूक्ष्म उभार को कम करते हैं।
उच्च धातुकर्म संबंध शक्ति:अल्ट्रासोनिक स्कैनिंग टाइटेनियम लक्ष्य टाइल और कॉपर बैकिंग प्लेट के बीच 95% बॉन्डिंग कवरेज की पुष्टि करती है, जिससे इष्टतम थर्मल और इलेक्ट्रिकल ट्रांसफर सुनिश्चित होता है।
सटीक आयामी सहनशीलता:सीएनसी मशीनिंग सटीक सिस्टम फिटिंग के लिए बाहरी व्यास और मोटाई सहनशीलता को +/- 0.1 मिमी के भीतर बनाए रखती है।
अनुप्रयोग
सेमीकंडक्टर और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स:एकीकृत सर्किट के लिए गेट इलेक्ट्रोड जमाव, प्रसार बाधाएं और बीज परतें।
ऑप्टिकल कोटिंग्स:एंटी-रिफ्लेक्टिव (एआर) कोटिंग्स, ऑप्टिकल फिल्टर और सटीक लेंस संवर्द्धन।
वास्तुशिल्प एवं ऑटोमोटिव ग्लास:ऊर्जा कुशल ग्लेज़िंग के लिए कम {{0}उत्सर्जन (निम्न {{1}ई) कोटिंग्स और सौर नियंत्रण फिल्में।
सजावटी और घिसावट -प्रतिरोधी पीवीडी:हार्डवेयर, कलाई घड़ी और काटने के उपकरण के लिए टाइटेनियम नाइट्राइड (TiN) या टाइटेनियम कार्बो -नाइट्राइड (TiCN) कार्यात्मक परतें।
अनुकूलन एवं विनिर्माण
उत्पादन में वैक्यूम इंडक्शन मेल्टिंग (वीआईएम), वैक्यूम आर्क रीमेल्टिंग (वीएआर), मल्टी - डायरेक्शनल फोर्जिंग और सटीक रोलिंग का उपयोग किया जाता है। यह प्रसंस्करण मार्ग आंतरिक संकोचन गुहाओं को खत्म करने के लिए कास्ट संरचनाओं को तोड़ता है।
कस्टम ज्यामिति:स्टेप्ड किनारे, बेवल, थ्रेडेड कूलिंग होल, और गैर--मानक व्यास विशिष्ट कैथोड गन (उदाहरण के लिए, एंगस्ट्रॉम साइंसेज, एजेए इंटरनेशनल, लेस्कर) के लिए मैप किए गए।
संबंध सेवाएँ:थर्मल डिबॉन्डिंग के बिना उच्च शक्ति घनत्व का सामना करने के लिए घर में इंडियम बॉन्डिंग और इलास्टोमेर बॉन्डिंग निष्पादित की जाती है।
गुणवत्ता नियंत्रण एवं प्रमाणन
रासायनिक विश्लेषण:इंडक्टिवली कपल्ड प्लाज़्मा मास स्पेक्ट्रोमेट्री (आईसीपी-एमएस) और ग्लो डिस्चार्ज मास स्पेक्ट्रोमेट्री (जीडीएमएस) ट्रेस मेटालिक और इंटरस्टिशियल तत्व सांद्रता को सत्यापित करते हैं। प्रत्येक बैच एक समर्पित विश्लेषण प्रमाणपत्र (सीओए) के साथ आता है।
गैर-विनाशकारी परीक्षण (एनडीटी):अल्ट्रासोनिक सी-स्कैन निरीक्षण लक्ष्य और बैकिंग प्लेट के बीच संबंध अखंडता का मूल्यांकन करता है, आंतरिक रिक्तियों या प्रदूषण की जांच करता है।
मेटलोग्राफिक परीक्षा:ऑप्टिकल माइक्रोस्कोपी अनाज के आकार के वितरण और चरण एकरूपता की पुष्टि करता है।
मानकों का अनुपालन:ISO 9001:2015 गुणवत्ता प्रबंधन प्रणालियों के तहत निर्मित।
पैकेजिंग एवं डिलिवरी
प्राथमिक पैकेजिंग:क्लीनरूम{{0}ग्रेड वैक्यूम-अक्रिय आर्गन गैस से भरे सीलबंद डबल पॉलीथीन बैग।
माध्यमिक पैकेजिंग:ट्रांज़िट के दौरान किनारों के छिलने या सतह को खरोंचने से बचाने के लिए भारी शुल्क निर्यात प्लाईवुड क्रेट्स में रखे गए सस्पेंडेड शॉक {{0}एब्जॉर्बिंग ईपीई फोम मोल्ड्स।
दस्तावेज़ीकरण शामिल:विश्लेषण प्रमाणपत्र, सामग्री सुरक्षा डेटा शीट (एमएसडीएस), और आयामी निरीक्षण रिपोर्ट।
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
प्रश्न: ऑप्टिकल अनुप्रयोगों बनाम सजावटी पीवीडी के लिए मुझे किस शुद्धता स्तर का चयन करना चाहिए?
उ: ऑप्टिकल पतली -फिल्म अनुप्रयोगों को आम तौर पर प्रकाश अवशोषण या बिखरने का कारण बनने वाले ट्रेस धातु समावेशन को खत्म करने के लिए 99.99% (4N) या उच्च शुद्धता की आवश्यकता होती है। TiN जैसी कार्यात्मक परतों को संसाधित करने वाली सजावटी कोटिंग लाइनें आमतौर पर सामग्री लागत दक्षता के साथ जमाव स्थिरता को संतुलित करने के लिए 99.9% (3N) शुद्धता का उपयोग करती हैं।
प्रश्न: आप उच्च -शक्ति आवेग मैग्नेट्रोन स्पटरिंग (HiPIMS) के दौरान लक्ष्य को टूटने से कैसे बचाते हैं?
उत्तर: टारगेट क्रैकिंग को सख्त मल्टी-{0}डायरेक्शनल फोर्जिंग और क्रॉस-रोलिंग पास के माध्यम से कम किया जाता है, जो 100 um से नीचे पूरी तरह से पुन: क्रिस्टलीकृत, महीन दाने वाली संरचना सुनिश्चित करता है। यह समान क्रिस्टलीय अभिविन्यास उच्च शक्ति घनत्व के तहत थर्मल तनाव को समान रूप से वितरित करता है।
प्रश्न: बंधित लक्ष्यों बनाम अनबंधित अखंड लक्ष्यों के लिए अधिकतम शक्ति घनत्व क्या है?
ए: लक्ष्य और कैथोड बैकिंग के बीच वायु अंतराल में थर्मल प्रतिरोध के कारण अनबॉन्डेड मोनोलिथिक लक्ष्य आमतौर पर कम बिजली घनत्व तक सीमित होते हैं। इंडियम या इलास्टोमेर इंटरफ़ेस का उपयोग करने वाले बंधुआ लक्ष्य उच्च बिजली भार (15 डब्ल्यू/सेमी2 से अधिक) को संभाल सकते हैं, बशर्ते कुशल ठंडा जल प्रवाह बनाए रखा जाए।
प्रश्न: क्या आप विरासत या मालिकाना स्पटरिंग सिस्टम के लिए कस्टम बैकिंग प्लेट चित्र का मिलान कर सकते हैं?
उत्तर: हाँ. उत्पादन कस्टम बैकिंग प्लेट डिज़ाइन को समायोजित करता है। इंजीनियरिंग विशिष्ट जल {{3}चैनल कॉन्फ़िगरेशन, ओ {{4}रिंग ग्रूव प्लेसमेंट और बोल्ट {{5}पैटर्न आवश्यकताओं से मेल खाने के लिए STEP, IGES, या 2D PDF ड्राइंग की समीक्षा करती है।
प्रश्न: कौन सी परीक्षण विधियां सोल्डर किए गए लक्ष्यों की बॉन्डिंग अखंडता को सत्यापित करती हैं?
उत्तर: अल्ट्रासोनिक सी{{0}स्कैन गैर{{1}डिस्ट्रक्टिव परीक्षण संपूर्ण बॉन्डिंग इंटरफ़ेस का निरीक्षण करता है। कोई भी स्थानीयकृत अबंधित क्षेत्र या कुल सतह क्षेत्र के 5% से अधिक रिक्त स्थान या 5 मिमी से बड़े किसी एकल रिक्त स्थान के परिणामस्वरूप अस्वीकृति होती है।
प्रश्न: प्रोटोटाइप और उत्पादन बैच ऑर्डर के लिए मानक लीड समय क्या है?
उत्तर: मानक स्टॉक आयाम 3 से 5 व्यावसायिक दिनों के भीतर भेज दिए जाते हैं। सामग्री की उपलब्धता और बैकिंग प्लेट कॉन्फ़िगरेशन की जटिलता के आधार पर, कस्टम मशीनीकृत लक्ष्यों या बंधी हुई असेंबलियों को 2 से 3 सप्ताह की आवश्यकता होती है।
एक उद्धरण का अनुरोध करें
24 व्यावसायिक घंटों के भीतर औपचारिक उद्धरण और सामग्री डेटा शीट प्राप्त करने के लिए लक्ष्य विनिर्देश (शुद्धता, आयाम, मात्रा, बैकिंग प्लेट आवश्यकताएं और लक्ष्य कैथोड मॉडल) जमा करें।
लोकप्रिय टैग: राउंड टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य, चीन राउंड टाइटेनियम स्पटरिंग लक्ष्य निर्माताओं, आपूर्तिकर्ताओं, कारखाने